技術(shù)參數(shù)：
| 1、額定電壓： | 0-75V |
| 2、電源電壓： | 三相380V |
| 3、額定功率： | 45KW |
| 4、最高溫度： | 1600℃ |
| 5、冷態(tài)極限真空度： | 6.67×10-3Pa |
| 6、工作區(qū)尺寸： | Φ300×350mm（直徑*高） |
| 7、冷態(tài)壓升率： | ≤ 4.0 Pa/h |
| 8、加熱器材料： | 鉬絲 |
| 9、保溫隔熱材料： | 鉬片+外層不銹鋼保溫筒 |
| 10、溫度控制范圍： | 室溫—1400℃ （鎢錸熱電偶） |
| 11、控溫精度： | ±1℃ |
| 12、充氣壓力（微正壓）： | ≤ 0.03 MPa |
| 13、充氣介質(zhì)： | N2、Ar等惰性氣體 |
